L?sungen für Halbleiterprozesse, Anlagenüberwachung und -steuerung

Die Herstellung von Halbleiter-Wafern und Mikroelektronik ist ein anspruchsvoller Prozess mit wenig Spielraum für Fehler. Die Industrie ist auf leistungsstarke überwachungs- und Messger?te für pr?zise chemische Zusammensetzungen und atmosph?rische Bedingungen angewiesen. Wir bieten Halbleiterprozessrefraktometer für die In-Line-Konzentrationsüberwachung bei der Dosierung von Chemikalien und Schl?mmen in gro?en Mengen sowie für Misch-, Spitzen- und Polierprozesse am Einsatzort. Au?erdem bieten wir Ger?te zur Messung von Feuchte, Taupunkt, Temperatur und Druck in und rund um die Halbleiterwerkzeuge und -anlagen. ?

Halbleiter?– Wafer

Wet Chemistry in Echtzeit

Bei der Herstellung von Halbleiter-Wafern werden in den Anlagen w?hrend des gesamten Herstellungsprozesses Tonnen von Chemikalien verbraucht. Die Zuverl?ssigkeit jeder chemischen L?sung hat daher oberste Priorit?t, da selbst die geringste Abweichung von der Spezifikation eine kostspielige Kontamination der Ausrüstung und Ausschuss von Wafern verursachen kann.?

N2-Gasleitung

Druckluft- und N2-Prozesslinien

Wenn Sie Druckluft- oder Stickstoffprozesslinien verwenden, unterstützt die Taupunktmessung Sie dabei, Ressourcen zu sparen, indem überm??ige Lufttrocknung und Korrosion der Ger?te vermieden werden. Die Vaisala DRYCAP Technologie erm?glicht eine schnelle Ansprechzeit dank Genauigkeit und geringem Wartungsaufwand.

Anlagensteuerung

Anlagensteuerung

Eine unzureichende Belüftung verringert nicht nur das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen, sondern auch die Produktivit?t erheblich, und zwar um 18?%. Genaue Messungen von Feuchte, CO2 und Temperatur mithilfe zuverl?ssiger, langlebiger und rückführbarer HLK-Sensoren sorgen dafür, dass sowohl die Energieeffizienz als auch das Wohlbefinden der Mitarbeiter*innen gew?hrleistet werden.

Warum Vaisala?

Vaisala verfügt über umfassendes Fachwissen im Bereich der Halbleiterindustrie und ist ein zuverl?ssiger Partner für unsere Kunden. Wir kennen uns in dieser Gesch?ftssparte sehr gut aus, indem wir Produkte für verschiedene kritische Halbleiterprozesse entwickeln und herstellen?– von der überwachung von Chemikalien und Prozessqualit?t bis hin zur überwachung der Umgebungsluft. Unser Prozessverst?ndnis wird durch unseren eigenen Reinraum und die Herstellung hochwertiger Mikrochips für Vaisala Produkte und F&E-Zwecke vervollst?ndigt. Vaisala ist bestrebt, Produkte über die gesamte Lebensdauer zu unterstützen. Wir bieten erstklassigen Service und Supportleistungen in Ihrer N?he. ?